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近日，中國(guó)電科產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)研究院開發(fā)基于深度神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的材料性能預(yù)測(cè)與工藝自主優(yōu)化系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)材料性能參數(shù)的精準(zhǔn)預(yù)測(cè)。
化合物半導(dǎo)體材料生長(zhǎng)條件苛刻、生長(zhǎng)狀態(tài)受設(shè)備時(shí)變擾動(dòng)影響嚴(yán)重，為保證材料高一致性生長(zhǎng)，批次間需進(jìn)行生長(zhǎng)工藝調(diào)控，但傳統(tǒng)調(diào)控方式主要依靠后道檢測(cè)結(jié)果反饋，材料的性能、良率提升與成本控制難以協(xié)同兼顧。
針對(duì)以上問(wèn)題，中國(guó)電科產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)研究院開發(fā)基于深度神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的材料性能預(yù)測(cè)與工藝自主優(yōu)化系統(tǒng)，基于海量自有工業(yè)數(shù)據(jù)，以材料生長(zhǎng)過(guò)程監(jiān)控參數(shù)為主要輸入，實(shí)現(xiàn)對(duì)材料性能參數(shù)的精準(zhǔn)預(yù)測(cè)，預(yù)測(cè)精度大于85%。根據(jù)預(yù)測(cè)結(jié)果，科研團(tuán)隊(duì)結(jié)合工藝優(yōu)化數(shù)字模型，實(shí)現(xiàn)了對(duì)工藝的智能調(diào)優(yōu)、對(duì)生長(zhǎng)狀態(tài)的及時(shí)修正，材料關(guān)鍵性能波動(dòng)幅度收窄超30%，完成了材料制造模式向“邊生長(zhǎng)、邊監(jiān)控、邊調(diào)控”的智能化模式轉(zhuǎn)型，有力支撐了化合物半導(dǎo)體材料高質(zhì)量、智能化生長(zhǎng)。
