中國電科48所研發首臺關鍵尺寸量測設備
來源：新聞中心
發布時間：2026年06月23日 編輯：新聞中心
近日，中國電科48所自主研發的首臺關鍵尺寸量測設備（CDSEM）完成整機調試與出廠檢驗，啟運交付客戶。
關鍵尺寸量測設備（CDSEM）是半導體先進制程中不可或缺的核心量檢測裝備，被譽為半導體制造的“納米標尺”，可適配先進集成電路、量子信息、人工智能芯片、光電子等前沿領域的研發與生產檢測需求。依托“三束”根技術，48所組建研發、生產、服務一體化協同攻關團隊，集智攻關、持續突破，先后攻克高分辨率電子光學系統、高精度位移臺等多項關鍵核心技術，實現從原理驗證、樣機研制到工程化產品的跨越。
下一步，48所將持續深化技術迭代與工藝創新，加速推進電子束設備產業化與服務標準化體系建設，強化與產業鏈龍頭企業的協同合作，用“三束”裝備為我國半導體產業高質量發展貢獻力量。
